RPS修理・型番一覧
| 分類 | メーカー | モデル | 周波数 | 使用パワー |
|---|---|---|---|---|
| 半導体 | MKS | AX7690NOV-01 | 6KW | |
| 半導体 | MKS | AX7690 PSK 04 | 6KW | |
| 半導体 | MKS | AX7695 PSK 01 | 6KW | |
| 半導体 | MKS | AX7695LAM-10 | 6KW | |
| 半導体 | MKS | AX7690LAM-23(R2) | 6KW | |
| 半導体 | NPP | NPR 804L | 3L | |
| 半導体 | NPP | NPR 509L | 3L |
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